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XRF之薄膜厚度及成分分析仪的分析测试技术

发布时间:2019-07-19 阅读:78

    能量色散x射线荧光光谱仪利用脉冲高度分析器进行能量色散的x射线荧光光谱仪与波长色散x射线荧光光谱仪相比,它的结构简单,可使用小功率x射线管激发和简单的分光系统。采用半导体探测器和多道脉冲高度分析器可提高分辨本领,由微处理机处理,可同时测定样品中多种元素,分析速度快。
    由于能量色散x射线荧光分析法的最大优点是可以测定样品中多种元素,并具有分析速度快、准确度高、重现性好、对试样无损害、不污染环境及低耗等优点。广泛被用于地质、冶金、化工、材料、石油、医疗、考古等诸多领域。特别是在现场分析中能实时获取多种数据的特点。能量色散x射线荧光光谱仪已成为一种强有力的定性和精确定量的分析测试技术。
    X 射线荧光分析技术可以分为两大类型:能量色散X 射线荧光分析(EDXRF)和波长色散X 射线荧光分析(WDXRF);而能量色散型又根据探测器的类型分为(Si-PIN)型和SDD 型。在不同的应用条件下,这几种类型的技术各有其突出的特点。
    测量精度
    尽管目前各家能量色散仪器(均为Si-PIN 类型)生产商和销售商都给出了很高的技术指标,但在实际应用中(特别在被测样品不进行处理的情况下),真正可以期待的准确度都在200~300ppm 之间(测量塑料中有害元素时,准确度会好一些;对不规则样品,则精度会更差);波长色散X 荧光分析仪的测量准确度比能量色散类型要高一个数量级,基本在20~50ppm左右。
    测量时间
    由于波长色散配备较大功率的X 光管,荧光强度高;因此,波长色散仪器占用较短的测量时,便能达到较高的测量精度。
    被测量样品的要求
    由于技术特点的差异,波长色散X 荧光分析仪需要对被测仪量样品进行简单的处理;对固体样品的一般处理方法是将被测量样品表面打磨光滑,对粉末和其他样品可以采用磨细后进行粉末压片法处理,相应的设备市场上很容易找到。
    能量色散型仪器最大的优势在于:可以对样品不作特别复杂的处理而直接进行测量,对样品也没有任何损坏,适合直接用于生产的过程控制中。
    但需要强调指出的是:从荧光理论上,被测量样品的预先处理是必须的,对于能量色散仪器来说,我们可以采取一些技术手段进行校正来满足实际生产控制的需要,但即使采用了技术校正的手段,对不规则样品的直接测量也是以牺牲测量准确度作为代价的。
    最佳应用范围
    由于波长色散和能量色散类型X 荧光分析仪各自的技术特点,两种类型仪器所侧重的应用方案也不尽相同;波长色散X 荧光分析仪具有较高的测量精度,但同时需要对被测量样品进行简单处理,更适用于进厂原材料、半成品、成品的精确检测和质量控制;能量色散X 荧光分析仪虽然测量精度稍差,但具有快速、直接测量各种形状样品的优点,因此可直接在生产线上用于各种部件、电子元器件的检测。
    能量分辨率
    能量分辨率是X 荧光分析仪器的主要指标,分辨率数值越小,分辨率越高,仪器性能越。
    荧光强度
    对于X 荧光分析仪器来说,各元素含量与该元素的荧光强度成正比关系;荧光强度越高,则统计误差越小,测量的准确度越高,仪器性能越好。
    使用寿命
    波长色散类型仪器的使用寿命一般为10 年以上;能量色散类型仪器的使用寿命一般也大于5 年,影响能量色散型仪器寿命的主要因素是探测器部分老化导致其性能指标变差。
    镀层测厚仪应用于PCB镀层厚度测量,PCB镀层测试,线路板镀层厚度检测,金属电镀镀层分析领域。集成了镀层测厚界面和合金成分分析界面,可同时分析镀层中的合金成分比列。
    产品优势:
    1、检测的样品可以为固体、液体或粉末;
    2、顶级配置:SDD探测器、超长寿命X射线管、SPELLMAN高压电源,仪器使用寿命长。
    3、镀层检测,检测层数范围1-5层;检测镀液的元素含量范围为1ppm-100%。
    4、软件终身免费升级;
    5、使用安心无忧,售后服务响应时间24H以内,提供全方位保姆式服务;
    6、RoHS规定的元素测试,待测物质的Sb\As\Se\Ba元素,卤素要求的Cl\Br八大有害重金属:铅:Pb、汞:Hg、镉:Cd、锑:Sb、硒:Se、砷:As、钡:Ba、铬:Cr。
    7、全自动操作平台,样品台可移动距离:前后左右各80mm、高度90mm;
    8 激光定位和自动多点测量功能;
    9、超高分辨率:125±5电子伏特(电子伏特越低分辨率越高,检测越精准,这是能谱仪一个非常关键的技术指标);
    10、可针对客户个性化要求量身定做辅助分析配置硬件;



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